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场发射扫描电镜
型 号： Quanta 650
生产厂商：FEI公司
主要技术指标：
1. 加速电压：200 V 至 30 kV
2. 探针电流：小于等于 200 nA，可连续调节
3. 放大倍数：6 到 1000000 倍
主要功能：
采用三种成像模式 —— 高真空、低真空和 ESEMTM 模式，显微表面形貌和成分分析。
技术特色：
SmartSCANTM 技术采用智能扫描策略，可减少噪声，提供最优质的数据。其他新功能包括可提高低加速电压 (kV) 性能的射束减速功能、Nav-CamTM 彩色图像导航和使 Quanta FEG 系列具备更大灵活性的新型伸缩式检测器等。
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