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场发射扫描电镜
型  号: Quanta 650
生产厂商:FEI公司
主要技术指标:
1. 加速电压:200 V 至 30 kV
2. 探针电流:小于等于 200 nA,可连续调节
3. 放大倍数:6 到 1000000 倍
 
主要功能:
采用三种成像模式 —— 高真空、低真空和 ESEMTM 模式,显微表面形貌和成分分析。
 
技术特色:
SmartSCANTM 技术采用智能扫描策略,可减少噪声,提供最优质的数据。其他新功能包括可提高低加速电压 (kV) 性能的射束减速功能、Nav-CamTM 彩色图像导航和使 Quanta FEG 系列具备更大灵活性的新型伸缩式检测器等。
 

 
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